S200 – R&D deposition chamber

ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Форма: циліндричний
IJD налаштування: стандартний 90° (вертикальний або горизонтальний)
Розмір: діаметр 370 (ISO-K320), висота 262 см
Фланці: 1x KF16, 3x KF25, 2x CF40, 2x CF63, 1x ISO-K100
Viewport: 1x ISO- F 100
Двері: 1x ISO-K 320
Матеріал: нержавіюча сталь 304L / 316L

Камера S200 може поставлятися окремо, частково або повністю обладнана відповідно до вимог користувача різними джерелами IJD, зразком, тримачем мішені, нагрівачами, вакуумним насосом тощо.

ПРОГРАМИ

Дослідження та розробки та розробка процесів на основі IJD.
IJD може обробляти дуже широкий спектр матеріалів для різних застосувань у реактивному або нереактивному режимі:

• метали, включаючи метали з високою температурою плавлення
• оксиди
• нітриди
• карбіди
• надпровідники
• напівпровідників
• комплексні сполуки взагалі
• полімери